氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對氣體的質(zhì)量流進行精密測量和控制。

它們在半導(dǎo)體集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。典型應(yīng)用場合有微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀以及其他分析儀器。

主要技術(shù)特點
（1）微處理器控制：MFC內(nèi)部采用可編程未處理控制，使用PID控制，可實現(xiàn)不同工況條件下進行高速準確的流量控制。
（2）可獨立運行：MFC上電后即可使用，用戶可通過按鍵直接對MFC進行操作，無需連接其他外部電路、PC、PLC等設(shè)備。
（3）緊湊的外形尺寸：MFC尺寸非常小巧緊湊，用戶使用時，不但能夠減小系統(tǒng)體積和重量，同時能夠集成更多的功能模塊。
（4）多氣體多量程選擇:MFC內(nèi)部設(shè)置了多種氣體模式（H2、N2、Air、He等）出廠時會根據(jù)您的需求進行操作選擇。同時，提供不同量程MFC產(chǎn)品，可根據(jù)您的實驗需求進行選擇。
（5）九針總線串口接口:MFC內(nèi)置九針串口，可選擇使用RS-485控制和4~20ma兩種模式。可通過RS-485總線組網(wǎng)，實現(xiàn)多臺MFC同時控制。
（6）自帶氣路凈化處理:MFC進氣口自帶5um氣路過濾組件，保障氣體潔凈。